8月28日~29日,2023集成電路用硅基氣體研討會在洛陽召開。
會議由集成電路材料產業技術創新聯盟、洛陽中硅高科技有限公司共同承辦,匯聚了來自業內知名單位的專家60余名。與會專家分別從晶圓制造、裝備、硅材料、硅基氣體、閥門、鋼瓶及氣體檢測等諸多集成電路細分領域,進行了深入研討。會議期間,先后組織召開了硅基氣體、硅基材料對接、團體標準技術等多場高質量專題研討會。
會上,洛陽市副市長牛剛、中硅高科董事長張合文分別致辭。
牛剛介紹了洛陽在發展集成電路相關領域的建設情況和營商環境,通過重點項目的建設,洛陽以實際行動助力國家集成電路產業鏈安全水平的提升。
張合文以中硅高科二十年為節點,通過中硅高科“擔國家責任,補基礎材料短板”的企業使命,介紹了中硅高科硅基材料新產品的攻關進展,展望了硅基氣體未來的發展,并表示中硅高科愿與同行共話芯產業共謀芯發展。
中硅高科副董事長、總經理、黨委副書記萬燁作了《以創新賦能產業升級 譜寫硅基材料產業高質量發展新篇章》的專題報告。北方華創供應鏈工程技術中心總經理曹永友博士、集成電路材料創新聯盟標準化專員王大方、中國原子能工業有限公司主管范學振等業內專家,分別作了《半導體潔凈制造及SEMI標準在氣體輸送系統的應用》《標準鑄立品牌 創新引領發展》 《集成電路閥門國產化進展和思考》的專題報告。
聯盟秘書長石瑛在專題研討及專家發言后,作了全面總結,她充分肯定了中硅高科對行業發展做出的積極貢獻,并就下一步的行業發展提出明確希望和建議。
隨后,與會專家認真聽取了由中硅高科牽頭制定的《集成電路用四氯化鈦中雜質含量的測定-電感耦合等離子體質譜法》標準技術內容的介紹,就行業現狀、發展趨勢、聯盟工作等進行了探討,大家一致認為行業發展要依靠創新驅動,以客戶需求為導向,走高質量發展之路。在熱烈的掌聲中大會圓滿結束。
會議期間,與會專家到中硅高科新投產的電子信息材料轉型升級項目(孟津工廠)進行了現場參觀。